除了主觀因素之外，許多購(gòu)車(chē)者在選擇汽車(chē)時(shí)非?？粗仄?chē)的燃油效率、排放、安全和豪華/便捷性。這些因素推動(dòng)了汽車(chē)智能傳感器應(yīng)用的發(fā)展。
如今的汽車(chē)系統(tǒng)可記錄和處理眾多傳感輸入變量，比如加速、壓力、溫度、引擎速度、轉(zhuǎn)速、角度、力量、距離、液位和化學(xué)成分(空氣質(zhì)量或油品質(zhì)量)?，F(xiàn)代化的傳感器可在芯片上集成傳感元件和信號(hào)評(píng)估電子元件(溫度補(bǔ)償、模數(shù)轉(zhuǎn)換等)，然后通過(guò)無(wú)線方式發(fā)送信息，從而改進(jìn)性能。
圖2 表面微機(jī)械加工傳感器的橫截面示意圖
本文將簡(jiǎn)要說(shuō)明車(chē)用微型機(jī)械壓力傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域，并探討其未來(lái)趨勢(shì)和要求。
安裝位置——技術(shù)
當(dāng)前的技術(shù)和車(chē)用壓力傳感器的使用直接相關(guān)。傳感器的安裝位置(包括其溫度、壓力和環(huán)境介質(zhì))決定了使用哪種傳感元件和封裝技術(shù)。比如說(shuō)，圖1簡(jiǎn)要介紹了用于引擎管理的傳感器。
對(duì)于壓力傳感器應(yīng)用而言，我們可以假定在壓力大于10帕?xí)r，傳感器工作在液體中或通過(guò)液體傳輸壓力信號(hào)。在這種情況下，器件封裝必須滿足工作環(huán)境的嚴(yán)格要求。對(duì)于壓力小于10帕的應(yīng)用(比如測(cè)量進(jìn)氣管氣壓(MAP)或大氣絕對(duì)壓力(BAP))而言，采用凝膠涂層封裝就可以。
英飛凌科技，針對(duì)這種應(yīng)用所采用的工藝是以適用于汽車(chē)應(yīng)用的0.5mm BiCMOS技術(shù)。壓力傳感器以電容性測(cè)量原理為基礎(chǔ)(表面微機(jī)械加工)，這意味著環(huán)境介質(zhì)的壓力變化會(huì)導(dǎo)致電容發(fā)生變化，進(jìn)而導(dǎo)致壓力輸出信號(hào)發(fā)生變化。為了能夠轉(zhuǎn)換物理壓力變量，在密封腔上覆蓋了一層壓力敏感膜。為此，場(chǎng)氧化層就會(huì)在襯底的電容器下電極上產(chǎn)生。
隨后，這種氧化層將被多晶硅摻雜層覆蓋。多晶硅構(gòu)成了電容器的對(duì)電極。該層采用這種結(jié)構(gòu)，為了可以在下一步通過(guò)使用氫氟酸進(jìn)行濕化學(xué)蝕刻去除下面的場(chǎng)氧化層(犧牲層)。最后，對(duì)獨(dú)立的多晶硅層進(jìn)行密封。通過(guò)這種方式，成形的腔體可在一定壓力下實(shí)現(xiàn)密封。
傳感器靈敏度主要取決于傳感器配置的幾何參數(shù)。這包括膜的直徑和厚度以及腔體的高度。在加壓情況下，可移動(dòng)膜將發(fā)生偏移，這會(huì)導(dǎo)致電容發(fā)生變化。為了加強(qiáng)信號(hào)，可利用多膜并聯(lián)。在此，有兩個(gè)區(qū)域?qū)毫γ舾校袃蓚€(gè)區(qū)域可作為參考之用。傳感器信號(hào)的形成就來(lái)源于壓力敏感區(qū)域和參考區(qū)域之間的差異。信號(hào)的模數(shù)轉(zhuǎn)換發(fā)生在信號(hào)處理過(guò)程中(集成在芯片里)。這可確保非常好的信噪比以及高精確度。
為了確保傳感器能大量應(yīng)用于汽車(chē)領(lǐng)域，壓力傳感器采用了一種特殊的SMD封裝。
塑料外殼有8個(gè)連接針。在傳感器芯片結(jié)合并利用金線連接之后，芯片利用硅膠進(jìn)行覆蓋。待測(cè)量的環(huán)境氣體壓力通過(guò)硅膠傳送到傳感器表面。此外，它可保護(hù)芯片免受環(huán)境影響。這種封裝用于自動(dòng)PCB裝置，比傳統(tǒng)封裝更具成本優(yōu)勢(shì)。
應(yīng)用
以現(xiàn)有應(yīng)用為例，我們將展示這種高集成度壓力傳感器如何應(yīng)用于現(xiàn)代汽車(chē)領(lǐng)域。
用于側(cè)面碰撞探測(cè)的壓力測(cè)量
由于側(cè)面碰撞而導(dǎo)致乘客受傷的交通事故數(shù)量不斷攀升，側(cè)面碰撞測(cè)試準(zhǔn)則進(jìn)行了修訂。這將導(dǎo)致出臺(tái)更為嚴(yán)格的側(cè)面碰撞探測(cè)要求。這一要求主要針對(duì)在短時(shí)間內(nèi)探測(cè)碰撞程度的傳感器系統(tǒng)。
側(cè)面碰撞測(cè)試原來(lái)采用的障礙物能同時(shí)接觸車(chē)門(mén)和B柱(ECE-R95、96/27/EG、Euro NCAP、IIHS和FMVSS 214)。這意味著碰撞沖擊力直接傳遞到汽車(chē)B柱。因此，定位在B柱的加速傳感器可迅速探測(cè)到這種沖擊力，并將數(shù)據(jù)傳遞給控制裝置，以便觸發(fā)安全系統(tǒng)。然而，隨著SUV(運(yùn)動(dòng)型多用途車(chē))數(shù)量的不斷增多，這種車(chē)車(chē)身結(jié)構(gòu)更高，當(dāng)SUV發(fā)生側(cè)面碰撞時(shí)，將導(dǎo)致不同的事故。傳統(tǒng)的側(cè)面碰撞測(cè)試沒(méi)有涵蓋這種情況。在這種碰撞事故中，越來(lái)越多的情況是只有車(chē)門(mén)發(fā)生碰撞，而不是整側(cè)車(chē)身都發(fā)生碰撞，這意味著B(niǎo)柱沒(méi)有發(fā)生碰撞。因此，這就要求對(duì)側(cè)面碰撞測(cè)試準(zhǔn)則進(jìn)行修訂(FMVSS 214 NPRM)。
在這種情況下，加速傳感器就難以從其安裝位置——B柱探測(cè)到車(chē)門(mén)受到的沖擊力。另外一種探測(cè)側(cè)面碰撞沖擊力的方式是使用壓力傳感器。因?yàn)檐?chē)門(mén)遭受的側(cè)面碰撞將導(dǎo)致車(chē)門(mén)發(fā)生變形，在車(chē)門(mén)腔內(nèi)的壓力隨之提升。這種壓力提升可通過(guò)位于門(mén)內(nèi)的壓力傳感器進(jìn)行探測(cè)。
這能大幅度降低是否作出激活安全系統(tǒng)決定的時(shí)間。此外，壓力傳感器輸出信號(hào)的特點(diǎn)能更輕松地區(qū)分真正的碰撞和沖擊余波。
圖3 采用SMD封裝的高集成度壓力傳感器
使用壓力傳感器探測(cè)側(cè)面碰撞的另外一個(gè)優(yōu)勢(shì)是整個(gè)門(mén)作為傳感元件，因?yàn)閴毫υ谡麄€(gè)門(mén)的空間分布。相應(yīng)地，輸出信號(hào)也與獨(dú)立的碰撞點(diǎn)無(wú)關(guān)，而是完全取決于沖擊力。這就帶來(lái)了另外一個(gè)關(guān)于傳感器定位和安裝技術(shù)的優(yōu)勢(shì)：壓力傳感器的輸出在很大程度上與這些因素?zé)o關(guān)。
當(dāng)前用于側(cè)面碰撞保護(hù)的系統(tǒng)包含壓力和加速傳感器，從而能充分利用兩種傳感器的優(yōu)勢(shì)。
引擎管理區(qū)的氣壓測(cè)量
為了更好地控制燃燒過(guò)程，汽車(chē)制造商越來(lái)越多地使用可以對(duì)物理參數(shù)進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量的傳感器。這也是近年來(lái)德國(guó)能將汽車(chē)平均油耗從20世紀(jì)80年代的大約10升/100公里降到大約7升/100公里(從每加侖大約24英里提升到大約34英里)的原因之一。此外，從1992年開(kāi)始，每四年歐洲都要推出新的排放控制標(biāo)準(zhǔn)，以便降低汽車(chē)污染物的排放。
圖4 探測(cè)側(cè)面碰撞沖擊力的壓力傳感器
在此我們將說(shuō)明引擎管理區(qū)域的傳感器應(yīng)用。用于MAP應(yīng)用的壓力傳感器測(cè)量進(jìn)氣管的壓力和氣量(參見(jiàn)圖1)。這種傳感器提供的數(shù)據(jù)以及來(lái)自BAP傳感器的數(shù)據(jù)可提供對(duì)于燃油混合至關(guān)重要的信息，從而最大限度地減少尾氣排放。
MAP和BAP傳感器市場(chǎng)已經(jīng)成熟。2005年，MAP傳感器的全球需求量已經(jīng)達(dá)到大約3700萬(wàn)個(gè)。BAP傳感器的全球需求量大約為1900萬(wàn)個(gè)。該市場(chǎng)平均年增長(zhǎng)率預(yù)計(jì)為6%。
胎壓監(jiān)控系統(tǒng)(TPMS)
預(yù)計(jì)胎壓監(jiān)控系統(tǒng)(TPMS)的市場(chǎng)增長(zhǎng)率會(huì)更高。盡管2001年該領(lǐng)域的傳感器需求量大約為300萬(wàn)臺(tái)，但分析師估計(jì)這種需求量在2010年將會(huì)攀升到1000萬(wàn)個(gè)。接近86%的超高年增長(zhǎng)率是以美國(guó)通過(guò)的相關(guān)法律為基礎(chǔ)的。因?yàn)?000年夏天在美國(guó)由于爆胎導(dǎo)致了一系列的致命車(chē)禍，所以美國(guó)頒布了這種法律。法律要求所有新車(chē)必須裝備胎壓?jiǎn)适Ь嫦到y(tǒng)(NHTSA Final Ruling)。在歐洲，胎壓監(jiān)控應(yīng)用也受到越來(lái)越多的重視，并且由于其便利和安全，正在逐步進(jìn)入中等汽車(chē)領(lǐng)域。圖5顯示了TPMS壓力傳感器的配置。
圖5 胎壓監(jiān)控系統(tǒng)傳感器配置
除了胎壓之外，傳感器還可測(cè)量輪胎溫度和傳感模塊的電池電壓。加速傳感器可監(jiān)控系統(tǒng)并報(bào)告車(chē)輛行駛情況。這對(duì)于將系統(tǒng)從節(jié)能狀態(tài)重新激活非常重要。對(duì)于這種應(yīng)用而言，電池要能持續(xù)使用超過(guò)10年時(shí)間。由中央接收單元扮演接收器的角色，該裝置除了接收TPMS信號(hào)之外，還可接收和處理來(lái)自遙控?zé)o鑰匙門(mén)禁(RKE)的信號(hào)。
圖6 TPMS傳感器元件配置
圖6顯示了TPMS傳感器的配置。此處使用的傳感器技術(shù)與表面微機(jī)械加工技術(shù)不同，制造工藝并不僅限于芯片表面的應(yīng)用。在此，采用了基體微機(jī)械加工工藝以便實(shí)現(xiàn)圖6顯示的結(jié)構(gòu)。
這種技術(shù)的優(yōu)勢(shì)是特別可靠，不受侵蝕性介質(zhì)的影響。在這種情況下，介質(zhì)與硅膜接觸，而不是傳感器電子元件。
趨勢(shì)和要求
在汽車(chē)應(yīng)用中，用于高集成度壓力傳感器的表面和基體微機(jī)械加工技術(shù)除了可降低成本外，還可創(chuàng)造緊湊型復(fù)雜系統(tǒng)。上述范例已經(jīng)說(shuō)明了壓力傳感器在汽車(chē)上的應(yīng)用，并且成為未來(lái)應(yīng)用不可缺少的部分。車(chē)用傳感器開(kāi)發(fā)的未來(lái)趨勢(shì)和要求如下：
* 高可靠性
* 低系統(tǒng)成本
* 適用于苛刻操作環(huán)境
* 體積小
* 高準(zhǔn)確度
我們認(rèn)為這些要求推動(dòng)了汽車(chē)傳感器應(yīng)用的發(fā)展，特別是上面提到的壓力傳感器應(yīng)用。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，我們已經(jīng)開(kāi)始考慮并實(shí)施了這些方面的應(yīng)用，比如在TPMS壓力傳感器產(chǎn)品方面。
（轉(zhuǎn)載）
