XQ300A高精度數(shù)控多線切割機(jī)床的成功研制，解決了我國(guó)半導(dǎo)體材料切割加工的瓶頸，標(biāo)志著我國(guó)已成為全球少數(shù)幾個(gè)掌握高檔數(shù)控多線切割機(jī)床制造技術(shù)的國(guó)家之一，打破了過(guò)去瑞士、日本等國(guó)外進(jìn)口同類設(shè)備長(zhǎng)期壟斷國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的局面。據(jù)透露，目前國(guó)內(nèi)已有十余家企業(yè)訂購(gòu)了該項(xiàng)目研制的數(shù)控多線切割機(jī)床產(chǎn)品。
多線切割是一種通過(guò)金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨，將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法；數(shù)控多線切割機(jī)已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割，成為硅片切割加工的主要方式。目前世界上僅有瑞士、日本等國(guó)家能制造數(shù)控多線切割機(jī)床。由湖南大學(xué)與湖南宇晶機(jī)器實(shí)業(yè)有限公司共同研發(fā)的XQ300A高檔數(shù)控多線切割機(jī)床，填補(bǔ)了我國(guó)在制造此類設(shè)備上的空白，其技術(shù)性能優(yōu)于瑞士、日本同類產(chǎn)品，價(jià)格僅為日本同類產(chǎn)品的50%、瑞士同類產(chǎn)品的30—40%。
以范滇元院士為首的專家組一致認(rèn)為，基于高精度高速低耗切割控制關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)的高精度數(shù)控多線高速切割機(jī)床，可全面實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體材料及各種硬脆材料的高精度、高速度、低損耗切割，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。該項(xiàng)目成果具有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，其中切割線的張力控制技術(shù)、收放線電機(jī)和主電機(jī)的同步技術(shù)居于國(guó)際領(lǐng)先水平。
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