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智能裝備

智能裝備新突破!格創(chuàng)東智攜AOI檢測設(shè)備現(xiàn)身智能裝備行業(yè)技術(shù)研討會

2025China.cn   2024年09月02日

8月30日下午,“數(shù)智驅(qū)動·智能創(chuàng)新 智能裝備行業(yè)三維研發(fā)數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化”技術(shù)研討會在深圳市舉行,圍繞智能裝備行業(yè)“降本增效”命題,將產(chǎn)品研發(fā)領(lǐng)域三維研發(fā)數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)化管理與應(yīng)用作為抓手,聚焦“非標(biāo)產(chǎn)品”研發(fā)領(lǐng)域企業(yè)的通例與痛點,突出研討企業(yè)數(shù)字化轉(zhuǎn)型過程中所需的應(yīng)用實踐與解決方案。會議由深圳市電子裝備產(chǎn)業(yè)協(xié)會、深圳市智能裝備產(chǎn)業(yè)協(xié)會等主辦,格創(chuàng)東智、瀚川智能、埃斯頓自動化、CADEANS、中興通訊、欣旺達(dá)等20多家上市公司及40多家智能裝備企業(yè)的技術(shù)代表悉數(shù)出席。

格創(chuàng)東智工業(yè)工控智能部產(chǎn)品業(yè)務(wù)負(fù)責(zé)人江淵受邀參加會議并發(fā)表《深化行業(yè)場景,賦能企業(yè)數(shù)智創(chuàng)新》主題演講。針對半導(dǎo)體領(lǐng)域檢測裝備與工業(yè)應(yīng)用的軟硬融合要點,核心AOI智能裝備產(chǎn)品及客戶用例,點明半導(dǎo)體領(lǐng)域的檢測裝備智能化的內(nèi)在邏輯和巨大前景,為行業(yè)貢獻(xiàn)新經(jīng)驗、新智慧。

據(jù)Grand View Research預(yù)測,至2027年全球AOI設(shè)備市場有望達(dá)194億美元,2023-2027年CAGR為 8%。而中國AOI市場空間從33億美金,增長至約55億美金,同期 CAGR 為 15%,顯著高于全球平均增速。這一預(yù)測反映了AOI設(shè)備在半導(dǎo)體制造行業(yè)中的廣泛應(yīng)用和重要性。據(jù)江淵介紹,格創(chuàng)東智作為AI驅(qū)動的工業(yè)智能解決方案提供商,涉獵諸多智能裝備,產(chǎn)品涵蓋半導(dǎo)體AMHS自動物料裝備、AOI檢測裝備、網(wǎng)關(guān)/一體機等多個工業(yè)設(shè)備。但目的就只有一個,就是全力提升高度自動化制造業(yè)的智能化水平,無限助力客戶達(dá)成極致效率、極致良率。

眾所周知,半導(dǎo)體制造業(yè)的試錯成本極高,尤其是產(chǎn)品本身的缺陷檢測,loss成本將涉及裝備制程和產(chǎn)品工藝的雙向計量。針對上述行業(yè)痛點,江淵強調(diào),格創(chuàng)東智已通過AOI智能裝備與天樞AI檢測軟件,對抗產(chǎn)品達(dá)標(biāo)的不確定性。他表示,這些不確定性因素都可以利用AOI設(shè)備及時檢測,并通過產(chǎn)品承載的AI深度學(xué)習(xí)算法,提前進(jìn)行品質(zhì)及缺陷智能分析,做到早發(fā)現(xiàn)、早處置。在談及核心產(chǎn)品時,江淵介紹,“公司基于工業(yè)AI平臺能力,結(jié)合光學(xué)設(shè)計、精密機械設(shè)計、電控設(shè)計、軟件開發(fā)與行業(yè)know-how,打造了天樞-AI檢測軟件、瑤光- 泛半導(dǎo)體顯示AOI、玉衡-半導(dǎo)體AOI三個系列的產(chǎn)品,用于解決泛半導(dǎo)體、光伏ADC智能檢測;面板產(chǎn)品外觀與畫面、玻璃外觀檢測與修復(fù);半導(dǎo)體硅片材料過程宏觀監(jiān)測、襯底出貨和外延來料監(jiān)測等檢測過程中的堵點與痛點”。

據(jù)了解,半導(dǎo)體領(lǐng)域的缺陷檢測涵蓋多道工序,外觀檢測就是第一步,包含外觀是否有劃痕、裂紋、變形、錯位等現(xiàn)象。外觀達(dá)標(biāo)后再進(jìn)入物理檢測與化學(xué)檢測。在半導(dǎo)體領(lǐng)域,AOI硅片外觀缺陷檢測設(shè)備主要用于檢測硅片的外觀缺陷問題。隨著芯片器件尺寸的不斷縮小和集成度的提高,生產(chǎn)過程中對上游的硅片微小缺陷的敏感度也日益增加。AOI設(shè)備通過高分辨率的光學(xué)鏡頭和靈活的圖像處理軟件,能夠檢測到微米級的缺陷,提高硅片的可靠性和性能,減少了生產(chǎn)中的次品率和成本。“玉衡在半導(dǎo)體硅片過程工藝宏觀檢測精度已達(dá)到0.2-20um。”江淵補充并表示,“在某單晶硅和碳化硅生產(chǎn)的客戶服務(wù)實踐中,格創(chuàng)通過AOI解決方案為客戶降低人力投入80%,提高出貨良率50%,提升分類準(zhǔn)確率20%。”這背后,得益于AI技術(shù)在機器視覺領(lǐng)域的深度應(yīng)用,讓判片設(shè)備“如虎添翼”。日前,格創(chuàng)東智更是憑借該技術(shù)在技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)品性能、市場影響力等指標(biāo)維度上表現(xiàn)亮眼,成功摘得工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)世界“2024工業(yè)機器視覺領(lǐng)航者20家”殊榮。

值得關(guān)注的是,格創(chuàng)東智自研的玉衡將AOI+AI成功運用到半導(dǎo)體6寸和8寸硅片的生產(chǎn)過程中,在某頭部客戶順利實現(xiàn)了量產(chǎn),在該領(lǐng)域開創(chuàng)了完全替代人工進(jìn)行檢測的先河。2021至2023年間,玉衡-半導(dǎo)體AOI設(shè)備智能解決方案多次拿到TCL技術(shù)創(chuàng)新一等獎,成為該領(lǐng)域的首個國產(chǎn)化軟硬一體化產(chǎn)品;天樞率先將AI應(yīng)用在面板檢測領(lǐng)域中,實現(xiàn)了0的突破,在2020年拿到國家發(fā)改委一等獎和工信部的二等獎。

裝備智能化,軟硬國產(chǎn)化是中國智能制造的必由之路,格創(chuàng)東智將繼續(xù)用技術(shù)創(chuàng)新沉淀智能智造項目經(jīng)驗,打磨更多突破傳統(tǒng)邊界的智能裝備,進(jìn)階新質(zhì)生產(chǎn)力。

(來源:格創(chuàng)東智Getech)

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