在環(huán)保意識高漲的當下，工業(yè)生產(chǎn)帶來的氮氧化物污染問題愈發(fā)嚴峻。氮氧化物不僅是形成臭氧(煙霧)的關(guān)鍵因素，危害人體健康，引發(fā)呼吸道疾病，還是酸雨的 “幫兇”，會破壞土壤、水體和植被，甚至影響空氣質(zhì)量和能見度。全球多國都對其排放實施了嚴格限制，如德國空氣質(zhì)量標準或美國EPA，對氮氧化合物排放設定了嚴格限制。
協(xié)微氮氧化合物減排裝置正是針對這些問題，致力于高效去除氮氧化物，為半導體等高科技產(chǎn)業(yè)提供高效的解決方案來防止、減少并處理所生成的氮氧化合物。
01、核心技術(shù)剖析：臭氧氧化，高效凈化
產(chǎn)品核心技術(shù)是利用臭氧的強氧化性。臭氧氧化能力出眾，僅次于氟、-OH和O(原子氧)，是單質(zhì)氯的1.52倍。處理時，先由臭氧發(fā)生器精準產(chǎn)生臭氧并科學配比，再與尾氣在Scrubber排氣管道中混合，將NO氧化為高價態(tài)氮氧化物，最后在噴淋塔與水或堿液反應生成亞硝酸鹽和硝酸鹽，實現(xiàn)高效凈化。整個過程迅速、徹底，且臭氧反應后生成氧氣，綠色環(huán)保。
02、智能控制系統(tǒng)：精準調(diào)控，安全無憂
產(chǎn)品配備先進的智能控制系統(tǒng)，操作界面簡潔直觀，方便操作人員進行監(jiān)控和管理。
工作狀態(tài)指示燈讓設備運行狀況一目了然;臭氧濃度和電流監(jiān)測功能，能在異常時及時切斷電源，保障安全;還可輕松設置輸出電壓，切換手動、自動模式，滿足不同生產(chǎn)工藝需求，實現(xiàn)精準調(diào)控。
03、卓越性能表現(xiàn)：高效穩(wěn)定，適應性強
性能方面，該產(chǎn)品表現(xiàn)卓越。無需額外前驅(qū)氣體，降低生產(chǎn)成本;常溫即可高效反應，減少能源消耗。當NO濃度≤600mg/m³，NO轉(zhuǎn)化率可達90 - 95%，最高超98%;實際應用中，NO轉(zhuǎn)化率超96%，NOx處理效率超45%。在不同工藝和工況下都能穩(wěn)定運行，華力測試中，NO轉(zhuǎn)化率大多在96%以上，NOx處理效率在45% - 55%之間。
與廠務堿洗配合時，其優(yōu)勢更明顯。NO濃度在560 - 860mg/m³、NOx濃度在929 - 1427mg/m³時，全范圍調(diào)節(jié)能力強，末端O3逃逸量<5ppm。隨著NaOH堿液pH值升高，NOx脫除效率顯著提升，pH>10時，采用DeNOx+NaOH堿液洗滌，NOx效率超75%，遠超單純使用DeNOx或NaOH堿液洗滌的效率。
04、完善規(guī)格參數(shù)，適配多元工業(yè)需求
產(chǎn)品規(guī)格設計也充分考慮工業(yè)多樣性。電氣參數(shù)可滿足不同場景電力需求;4 - 6個KF40規(guī)格進氣口及標準接口，方便與工業(yè)管道連接;酸排水、排氣參數(shù)明確，廠務酸排取樣口設置合理;產(chǎn)品尺寸設計預留充足維修空間，保障設備長期穩(wěn)定運行。
分體式
集成式
協(xié)微氮氧化合物減排裝置在工藝廢氣處理領(lǐng)域為泛半導體企業(yè)提供了解決氮氧化物排放問題的可靠方案。它不僅有助于企業(yè)滿足日益嚴格的環(huán)保法規(guī)要求，還能助力企業(yè)實現(xiàn)綠色可持續(xù)發(fā)展，應用前景廣闊。
（來源：協(xié)微環(huán)境）
