8月11日，以“協(xié)力同芯搶機遇，集成創(chuàng)新造設備”為主題的第十一屆(2023年)中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會半導體設備年會暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇在無錫太湖國際博覽中心圓滿閉幕。為期3天的CSEAC，通過展覽展示會，論壇、新品發(fā)布等形式全面呈現(xiàn)我國集成電路產(chǎn)業(yè)在設備、核心部件、關鍵材料等方面取得的發(fā)展成果及產(chǎn)業(yè)鏈關鍵環(huán)節(jié)的創(chuàng)新探索。作為電子束檢測、量測領域的領導者，東方晶源受主辦方邀請亮相此次大會，在半導體制造技術與設備材料董事長論壇、制造工藝與半導體設備產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動發(fā)展論壇進行兩場重磅的主題演講，分享并探討了相關前沿技術與趨勢，受到參會者的高度關注并引發(fā)熱烈反響。
半導體制造技術與設備材料董事長論壇
在圓桌對話環(huán)節(jié)，東方晶源董事長俞宗強博士與中微半導體設備(上海)股份有限公司董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯博士、拓荊科技股份有限公司董事長呂光泉博士等國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)領軍企業(yè)負責人同臺，圍繞技術創(chuàng)新以及如何做好行業(yè)的協(xié)同發(fā)展進行交流和探討。
談及企業(yè)如何面對行業(yè)周期性的波動時，俞董表示：“半導體行業(yè)周期非常強，現(xiàn)在加上地緣政治就更復雜了，很多不可預計的事件都會發(fā)生，我總結就是以不變應萬變，練好內(nèi)功。另外就是把今天的事做好，也準備做明天的事，再關注后天會發(fā)生什么，以不變應對萬變?！?/FONT>
行業(yè)的發(fā)展和變革是永恒的話題，隨后圓桌論壇的領導們圍繞各自領域面臨著的挑戰(zhàn)和機遇展開交流。“首先有些可為有些不可為，不可能什么都做，東方晶源成立十年來一直只做一件事——怎么樣把現(xiàn)有集成電路制造的良率提升，我們也是沿著這條主線在往前發(fā)展”，俞董的回答解答了很多人的疑問：為何東方晶源既有電子束檢測、量測設備，又有EDA相關產(chǎn)品。
在演講環(huán)節(jié)，俞董通過《后摩爾時代的挑戰(zhàn)及人工智能的機遇——芯片制造從藝術到科學到智能》主題演講，深度解析了引領企業(yè)發(fā)展的HPOTM(Holistic Process Optimization)良率最大化技術路線和產(chǎn)品設計理念，鏈接硬件和軟件的底層核心技術以及目前在實踐方面的成果。通過俞董的演講，大家感受到集成電路“智造”時代的到來，引人深思。
制造工藝與半導體設備產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動發(fā)展論壇
在制造工藝與半導體設備產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動發(fā)展論壇上，東方晶源創(chuàng)新技術研究院院長孫偉強博士帶來題為《用于集成電路良率監(jiān)控的電子束檢測量測設備的國產(chǎn)化之路》的演講。短短的二十分鐘演講時間，孫偉強博士從電子束檢測量測設備發(fā)展趨勢、技術前沿、國產(chǎn)化攻關的三大關鍵點、以及東方晶源在CD-SEM、EBI、DR-SEM三大電子束檢測、量測領域的技術創(chuàng)新點進行分享，展現(xiàn)出東方晶源作為國內(nèi)電子束檢測、量測領域領導者的技術實力和前瞻布局的領先性。
電子束檢測量測設備(包括電子束缺陷檢測設備、關鍵尺寸量測設備等)被用于對晶圓及集成電路的物理缺陷、電性缺陷檢測及關鍵圖形的尺寸量測，是集成電路制造中不可或缺的良率監(jiān)控手段，但長期以來市場都被國外廠商所壟斷。為解決此類設備國產(chǎn)化空白，東方晶源通過近十年的自主研發(fā)，突破了高分辨率大視場掃描成像、三維高精度定位補償、智能化缺陷檢測和分類等技術難點，研發(fā)出國產(chǎn)化電子束檢測設備并應用于集成電路產(chǎn)線，填補國內(nèi)空白，為推動我國集成電路領域檢測技術的發(fā)展起到了重要作用。
半導體設備對整個半導體行業(yè)起著支撐的重要作用，是半導體產(chǎn)業(yè)鏈上市場空間最廣闊、戰(zhàn)略價值最重要的一環(huán)。未來，東方晶源將在電子束檢測、量測領域繼續(xù)深耕，擴大領先優(yōu)勢，解決更多產(chǎn)業(yè)相關難題。同時，通過打通設計與制造環(huán)節(jié)，為集成電路制造良率管理提供全新的解決方案，為推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻“晶源”力量!
（東方晶源）
