6月29日，業(yè)內(nèi)最大規(guī)模半導(dǎo)體年度盛會——SEMICON China 2023在上海新國際博覽中心盛大開幕。格創(chuàng)東智半導(dǎo)體事業(yè)部總經(jīng)理、半導(dǎo)體智能制造專家肖長寶受邀出席大會半導(dǎo)體智能制造“未來工廠”論壇，并發(fā)表了主題演講，分享如何使用創(chuàng)新技術(shù)、建設(shè)新一代半導(dǎo)體智能工廠，在日益復(fù)雜的工藝制程下，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體工廠對于極致良率的追求。
格創(chuàng)東智半導(dǎo)體事業(yè)部總經(jīng)理、半導(dǎo)體智能制造專家肖長寶
隨著半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)的不斷升級與設(shè)備演進(jìn)，晶圓制造工藝制程飛速進(jìn)步，晶體管密度成倍增加，芯片制造良率管理難度也呈指數(shù)級增長。特別是在追求先進(jìn)制程的晶圓廠，在努力平衡量產(chǎn)壓力和良率指標(biāo)的同時，良率管理復(fù)雜度持續(xù)提高。
半導(dǎo)體工廠將產(chǎn)品良率視為生命線，其重要性不言而喻。肖長寶指出，在摩爾定律驅(qū)動下，芯片工藝不斷進(jìn)步。采用新工藝的芯片，面積更小，功耗更優(yōu)，頻率更高，成本還更低。數(shù)據(jù)顯示，即便晶圓廠一條產(chǎn)線上每一道制程良率都高達(dá)99%，但是經(jīng)過600道工序后，整體良率只有0.24%，幾乎為0。良率每提高1%，對晶圓廠而言，就意味著多賺1.5億美元。
“在半導(dǎo)體制造過程中，常見的影響良率的因素包括材料質(zhì)量、工藝參數(shù)、設(shè)備狀態(tài)、環(huán)境條件、人員技能等，分布在'人、機(jī)、料、法、環(huán)、測'各個環(huán)節(jié)。”肖長寶表示，這也導(dǎo)致半導(dǎo)體工廠所面對的良率提升挑戰(zhàn)愈發(fā)嚴(yán)峻。比如：
工序多，工藝控制難;設(shè)備精密，控制難;一步一檢，檢測成本高;人才不足、知識復(fù)用難;數(shù)據(jù)多，應(yīng)用難;品質(zhì)問題識別滯后;根因復(fù)雜，追溯滯后……
在此背景下，聚焦設(shè)計、生產(chǎn)、改善、檢測等全環(huán)節(jié)，借助AI、大數(shù)據(jù)等新興技術(shù)實(shí)現(xiàn)更高的良率和更少的投入，已經(jīng)成為行業(yè)共識。越來越多的半導(dǎo)體企業(yè)運(yùn)用數(shù)據(jù)智能技術(shù)進(jìn)行生產(chǎn)全鏈條數(shù)據(jù)分析，通過分析模型找到?jīng)Q策和改善條件，并運(yùn)用更靈活和便捷的工作模式，解決企業(yè)在生產(chǎn)效率，穩(wěn)定性和良率等方面的固有問題。
作為半導(dǎo)體工廠智能制造整體解決方案提供商，格創(chuàng)東智具備全棧國產(chǎn)化良率提升解決方案，包括SPC統(tǒng)計過程控制、FDC故障偵測與分類、MFA多因子分析、ADC智能視覺檢測、QMS質(zhì)量管理系統(tǒng)，可通過整合的一站式方案，助力晶圓廠有效提升品質(zhì)管理、破解良率管理難題：
SPC統(tǒng)計過程控制：
多樣化數(shù)據(jù)接入：儀器設(shè)備自動采集、數(shù)據(jù)文件自動讀取、自定義數(shù)據(jù)錄入、多類數(shù)據(jù)庫接口;
高效計算：與工藝數(shù)據(jù)實(shí)時聯(lián)動、實(shí)時指標(biāo)計算、復(fù)雜統(tǒng)計圖表呈現(xiàn)、自動更新管制線;
實(shí)時監(jiān)控預(yù)警：預(yù)警實(shí)時發(fā)送、自動反饋停機(jī)、實(shí)時監(jiān)控看板、制程能力分析;
系統(tǒng)設(shè)計靈活：數(shù)據(jù)處理程序獨(dú)立、數(shù)據(jù)采集頻率可調(diào)、數(shù)據(jù)可模擬、功能可擴(kuò)展;
FDC故障偵測與分類：
響應(yīng)快：采用全新大數(shù)據(jù)架構(gòu)，處理性能提升10倍。不限設(shè)備數(shù)量，彈性擴(kuò)展，快速響應(yīng);
分析快：全新用戶界面，個性化數(shù)據(jù)看板，一鍵管理上萬實(shí)例，迅速分析產(chǎn)品異常;
應(yīng)用快：傻瓜式系統(tǒng)部署指引，配置簡單方便，如系統(tǒng)邏輯變更也可快速配置，無需編碼;
MFA多因子分析：
零代碼：零代碼建模，沒有IT技術(shù)背景也能建模分析;
可追溯：可視化建模，可追溯分析建模過程;
可預(yù)測：實(shí)時預(yù)測監(jiān)控，異常預(yù)警告警，服務(wù)實(shí)際生產(chǎn);
自學(xué)習(xí)：模型自主更新，自主學(xué)習(xí)迭代;
ADC智能視覺檢測：
基于深度學(xué)習(xí)算法，搭載于傳統(tǒng)AOI/CCD設(shè)備之上，幫助傳統(tǒng)AOI/CCD設(shè)備進(jìn)行產(chǎn)品缺陷的自動分類，能實(shí)現(xiàn)檢測方法的自主優(yōu)化，徹底取代傳統(tǒng)機(jī)器視覺的人員復(fù)判作業(yè)，給工業(yè)裝上永不疲勞的眼睛和大腦;
QMS質(zhì)量管理系統(tǒng)：
全員、全過程、全生命周期質(zhì)量管理：實(shí)現(xiàn)了綜合質(zhì)量管理與產(chǎn)品全生命周期質(zhì)量管理的融合，并上下貫穿從集團(tuán)公司到子公司到部門再到科室、班組的質(zhì)量數(shù)據(jù)鏈;
充分集成其它信息系統(tǒng)，消除信息孤島：和PLM、SAP、MES、SRM、CRM等系統(tǒng)無縫集成，實(shí)現(xiàn)業(yè)務(wù)貫通，消除信息孤島;
微服務(wù)架構(gòu)，部署靈活：基于微服務(wù)架構(gòu)構(gòu)建，操作系統(tǒng)與數(shù)據(jù)庫跨平臺支持，BS+移動客戶端方式;支持本地化部署 、SaaS云端部署;
當(dāng)前，半導(dǎo)體工廠對智能制造升級的需求愈發(fā)迫切，格創(chuàng)東智不僅擅長于半導(dǎo)體等尖端制造業(yè)的工業(yè)軟件和系統(tǒng)研發(fā)，更是國內(nèi)為數(shù)不多的提供全棧式工廠集成服務(wù)的行業(yè)頭部廠商。
基于“生產(chǎn)-分析-預(yù)測” 的全新視角，格創(chuàng)東智構(gòu)建了半導(dǎo)體智能工廠全棧國產(chǎn)化CIM整體解決方案，實(shí)現(xiàn)透明化生產(chǎn)執(zhí)行、自動化設(shè)備管理、高效率計劃協(xié)同、精準(zhǔn)質(zhì)量追溯和物流管理等，幫助半導(dǎo)體企業(yè)提高產(chǎn)能、降低損耗、提升良率、優(yōu)化生產(chǎn)和工藝設(shè)計。目前，格創(chuàng)東智已成功服務(wù)中芯國際、上汽英飛凌、武漢新芯、株洲中車、揚(yáng)杰科技、理想汽車-斯科半導(dǎo)體等半導(dǎo)體行業(yè)客戶。
（格創(chuàng)東智）
