半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)自動(dòng)化設(shè)備精度、速度和減少顆粒排放量等方面的要求尤為苛刻。尤其對(duì)于價(jià)值極高的半導(dǎo)體硅晶圓搬運(yùn)，德國 SüSS MicroTec 公司青睞史陶比爾TX60L cr 凈室機(jī)器人，用于在超潔凈室環(huán)境內(nèi)的，極高穩(wěn)定性要求的搬運(yùn)硅片自動(dòng)化涂膠工序中。
挑戰(zhàn)
晶圓自動(dòng)化搬運(yùn)
機(jī)器人將工件從A處搬運(yùn)至B處通常是一道簡單工序。但若涉及硅晶圓搬運(yùn)，則與常規(guī)要求完全不同，因?yàn)橐黄杈A的價(jià)值高達(dá)幾千歐元。為確保這些高價(jià)值產(chǎn)品絕對(duì)安全的搬運(yùn)，德國SüSS MicroTe 集團(tuán)選用了高精度的史陶比爾TX60L CR 凈室機(jī)器人。
其集團(tuán)旗下公司SüSS MicroTec Lithography GmbH，致力于晶圓后道加工中的光刻工藝，并提供全系列光阻涂布機(jī)產(chǎn)品。該公司精通晶圓搬運(yùn)工藝，搬運(yùn)效果快速、精準(zhǔn)、可靠，破損率與其每分鐘搬運(yùn)速度相比幾乎可忽略不計(jì)，為其贏得了全球客戶。
解決方案
基于機(jī)器人搬運(yùn)的創(chuàng)新涂膠和顯影系統(tǒng)
即使是標(biāo)準(zhǔn)配置，SüSS MicroTec的系統(tǒng)設(shè)計(jì)也旨在具備高柔性，正如其 ACS300 Gen2 型號(hào)涂膠和顯影一體機(jī)。這套系統(tǒng)無需機(jī)械改造即可用于200-300mm晶圓加工，主要包括先進(jìn)涂膠工藝、晶圓級(jí)封裝和三維集成技術(shù)。該系統(tǒng)內(nèi)所有搬運(yùn)工作均由高精度史陶比爾TX60L cr機(jī)器人完成。在后道加工環(huán)境中潔凈等級(jí)達(dá)到 ISO 3 級(jí)至 ISO 4 級(jí)，凈室版本的TX60L可輕松滿足。
SüSS MicroTec系統(tǒng)在可靠性、重復(fù)定位精度、正常運(yùn)行時(shí)間和安全搬運(yùn)方面都有非常高的要求。因?yàn)樵谶@一階段前，已完成近90%的生產(chǎn)步驟，一片極其昂貴的晶圓破碎就能導(dǎo)致嚴(yán)重的后果。
與半導(dǎo)體業(yè)內(nèi)較為普遍的平面三連桿機(jī)械臂(只有3個(gè)自由度)相比，史陶比爾六軸機(jī)器人更具柔性。尤其是臂展較長的 TX60L 具備更廣工作行程，更大的運(yùn)行空間支持系統(tǒng)內(nèi)部更靈活的模塊安排。此外，TX60L 還具備更高的取放精度和出色的重復(fù)定位精度，這在晶圓邊緣光刻膠去除方面是一項(xiàng)決定性標(biāo)準(zhǔn)。
客戶應(yīng)用
最高精度保證最大化可靠性
將晶圓放置到加工模塊時(shí)的動(dòng)作必須非常精準(zhǔn)。憑借高精度史陶比爾TX60L，在模塊內(nèi)達(dá)到±50微米絕對(duì)放置精度的既定目標(biāo)能輕松實(shí)現(xiàn)，這很大程度上歸因于史陶比爾機(jī)器人自有專利JCS驅(qū)動(dòng)技術(shù)。
在拾取和嵌入晶圓時(shí)，機(jī)器人的精準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)軌跡也是一大優(yōu)勢。TX60L能以出色的可靠性搬運(yùn)昂貴晶圓而無任何輕微顫動(dòng)，也未曾發(fā)生晶圓破碎問題。系統(tǒng)的周期時(shí)間視實(shí)際任務(wù)而定，模塊加工時(shí)間對(duì)某些工藝來說是限制因素，但對(duì)于其他任務(wù)來說，機(jī)器人自身的取放周期時(shí)間才是決定性因素。在兩種情況下，系統(tǒng)都受益于機(jī)器人的超快速度的周期時(shí)間。即使是在較大加速度下，史陶比爾機(jī)器人仍能保持精準(zhǔn)運(yùn)行，從而安全避免晶圓損壞。
實(shí)際上，SüSS創(chuàng)新地將史陶比爾六軸機(jī)器人集成到ACS 300 Gen2系列設(shè)備絕非偶然，而是經(jīng)過對(duì)市面上現(xiàn)有機(jī)器人產(chǎn)品的嚴(yán)格篩選。在尋求工作范圍、速度、精度和可靠性的最優(yōu)組合時(shí)，只有性能卓越的史陶比爾機(jī)器人才適用。
客戶收益
● 有效預(yù)防晶圓破損
● 精度高達(dá)微米級(jí)的機(jī)器人搬運(yùn)
● 柔性系統(tǒng)設(shè)計(jì)
● 縮短周期時(shí)間
● 高生產(chǎn)率
（轉(zhuǎn)載）
