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運(yùn)動(dòng)控制

Kinco ED Profibus總線伺服成功應(yīng)用于太陽(yáng)能硅片清洗機(jī)

2025China.cn   2015年05月04日

  一、系統(tǒng)概述

  硅太陽(yáng)能電池是目前應(yīng)用最廣最成熟的電池,其通常是在厚度 0.35mm 的高質(zhì)量硅片上制成的。硅片在加工過(guò)程中,表面會(huì)吸附各種顆粒雜質(zhì),硅片清晰的目的是要清除各類污染物。清洗的潔凈程度直接影響著電池片的成晶率和可靠性。

  太陽(yáng)能硅片清洗機(jī)是專門用于清洗硅片上的雜質(zhì)的設(shè)備, 主要運(yùn)用于單晶硅片、電子零件、光學(xué)鏡片等行業(yè)。

  二、工藝介紹

  本設(shè)備由槽體、機(jī)械手、人機(jī)界面和電控柜四部分組成。工藝動(dòng)作均由機(jī)械手來(lái)實(shí)現(xiàn),機(jī)械手在槽間轉(zhuǎn)換,由 S7300PLC 通過(guò) PROFIBUS-DP 總線控制,響應(yīng)速度快,能達(dá)到 12Mbit/S。

  硅片清洗工藝流程如下圖

  工藝重點(diǎn)在于機(jī)械手抓取提籃,轉(zhuǎn)移到各工藝槽中進(jìn)行腐蝕和清洗,相關(guān)工藝槽具有加熱、超聲、排液、溫度檢測(cè)、液位檢測(cè)等功能。機(jī)械手選擇各個(gè)工藝槽是通過(guò)伺服走位置實(shí)現(xiàn)的。

  圖 1

  三、Kinco 控制方案

  硅片清洗機(jī)共有 11 個(gè)槽,2 個(gè)機(jī)械手,機(jī)械手可以左右移動(dòng),實(shí)現(xiàn)對(duì)多個(gè)槽的控制。2 個(gè)機(jī)械手由 S7300 的 PLC 通過(guò) DP 總線控制 KINCO ED 伺服,達(dá)到精確多軸控制。控制系統(tǒng)圖如下

  四、方案配置

  五、結(jié)論

  客戶原本使用 SEW 伺服, 性能雖然能達(dá)到要求, 但價(jià)格昂貴, 原先生產(chǎn)速度,節(jié)拍:5~10min/200 片,使用 KINCO ED 伺服以后,節(jié)拍:3~7min/200 片,速度完全能達(dá)到要求,客戶對(duì)其性能非常滿意。

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