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技術(shù)

輪胎壓力傳感器系統(tǒng)TPMS的設(shè)計與研制

2025China.cn   2008年12月25日

  摘要:美國的NHTSA已出臺的TREAD法規(guī)引起新一輪汽車壓力傳感器應(yīng)用高潮和TPMS產(chǎn)品的開發(fā)熱潮。為了該產(chǎn)品的國產(chǎn)品種開發(fā)設(shè)計,我們研制出了一種輪胎壓力傳感器芯片,它是采用基于MEMS技術(shù)的硅體微機(jī)械加工技術(shù)制造的,采用硅—硅真空鍵合大大縮小單元尺寸,有利于降低成本。已研制成功的用這一芯片制造的壓力傳感器性能已達(dá)到了實用化要求。

       前言:新世紀(jì)伊始,由于凡世通輪胎(Fire-tone)的質(zhì)量問題,大量的爆胎和翻車事故造成了超過100人的死亡和400人的受傷,引起了汽車業(yè)界和美國政府的關(guān)注。該公司不得不于次年8月召回了650萬只輪胎。據(jù)統(tǒng)計,美國每年有26萬例交通事故是由于輪胎氣壓低或滲漏造成的,占交通事故的75%。而中國高速公路上交通事故的70%是由于爆胎引起的。

       輪胎質(zhì)量專家認(rèn)為,“保持標(biāo)準(zhǔn)的車胎氣壓行駛和及時發(fā)現(xiàn)車胎漏氣是防止爆胎的關(guān)鍵?!碑?dāng)前盛行的低成本的手執(zhí)式數(shù)字胎壓計不能保證及時發(fā)現(xiàn)車胎漏氣,目前用于200多萬輛通用和福特公司汽車上的間接測量技術(shù)——用防搶死剎車輪胎速度傳感器來測量比較每一個輪胎轉(zhuǎn)速,從而推斷出輪胎的壓力是否不足的方法實在是既麻煩又不準(zhǔn)確。

       在每一個車胎中安裝上胎壓監(jiān)測傳感器和射頻發(fā)射器的智能輪胎正在引起極大的關(guān)注,智能輪胎與汽車儀表盤上一個接受器及顯示器配合,即構(gòu)成一個輪胎壓力器測系統(tǒng),即TPMS(Tire Pressure Monitoring System),它也可以直稱為胎壓監(jiān)測傳感器(Tire Pressure Monitoring Sensor)。

       美國國家公路安全管理局上世紀(jì)七十所代中期的強(qiáng)制性聯(lián)邦法令,促成了燃油自動噴射系統(tǒng)的普及及第一次汽車傳感器應(yīng)用的高潮。2002年NHTSA的又一聯(lián)邦法案,規(guī)定美國汽車從2003~2006年,每年分別以15%,35%,65%,100%的比例裝配TPMS系統(tǒng) ,這將掀起新一輪汽車壓力傳感器應(yīng)用的高潮。

輪胎壓力傳感器

       車胎獨特的工作環(huán)境條件,決定了胎壓實時監(jiān)測的壓力傳感器的高要求,要求寬溫區(qū),寬電源電壓范圍內(nèi)較高的實用總精度要求,低功耗要求,無線信號傳輸要求,耐惡劣環(huán)境要求和低成本要求。

       摩托羅拉(Motorola)公司是TPMS系統(tǒng)的積極開發(fā)者,它采用基于MEMS技術(shù)的硅集成電容式壓力傳感器MPXY8020A作為胎壓檢測單元,具有低功耗和全集成的特點。采用32針封裝的MC68HC908RF2作為信號控制處理與發(fā)射單元,它是一個8位單片機(jī)和UHF發(fā)射器集成在一起的器件,采用MC33594作為接收單元。

       近年為通用電器公司收購的著名傳感器廠商諾瓦傳感器公司(GE NovaSensor)是另一個積極開發(fā)者,它采用了基于MEMS技術(shù)的硅壓阻式壓力傳感器作為胎壓監(jiān)測單元,配有一個能完成控制、測量、信號補償與調(diào)整及發(fā)射的專用CMOS大規(guī)模集成電路。將兩個芯片封裝在一個標(biāo)準(zhǔn)的14腳SOIC封裝中,即構(gòu)成其TPMS,型號為NPXC01746,由于采用了喚醒瞬態(tài)工作模式,其功耗僅9.7微安秒,可滿足電池十年的工作壽命,由于采用了數(shù)字補償功能,在-40℃~+125℃,電池電壓2.1V~3.0V范圍內(nèi),測壓精度優(yōu)于1.5%FS,Nova模式的更大意義在于它可以采用現(xiàn)有的ASIC與任何一種集成惠斯頓全橋壓阻壓力傳感器復(fù)合集成,產(chǎn)生更多型號的TPMS產(chǎn)品。


       挪威的SensoNor公司專業(yè)制造基于壓阻壓力的專用集成傳感器,由輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)供應(yīng)商如TRW Automotive公司、SmarTire公司配套制作成TPMS,SensoNor的壓阻式輪胎傳感器與SmarTire的射頻發(fā)生器組合成功的TPMS已為西門子VDO汽車配件公司和美國固特異輪胎公司(Goodyear)采用。

輪胎壓力傳感器力敏芯片的設(shè)計與開發(fā)

       為開發(fā)輪胎壓力傳感器,我們設(shè)計和研制出了一種適用的絕對壓力傳感器,它是一種基于MEMS硅體微機(jī)械加工技術(shù)的微型壓阻絕對壓力傳感器,敏感元件為―集成惠斯頓全橋。力敏電阻按常規(guī)設(shè)計分布在正方形硅薄膜的四邊邊緣中心點,按〈110〉晶向排列,一對呈縱向布局,一對呈切向布局,從而形成惠斯頓應(yīng)變?nèi)珮?。電阻條寬8um,全長60um,平均有效應(yīng)力可以保證20mV/V 的輸出靈敏度。電阻采用離子注入摻雜形成,有優(yōu)良的均勻性和摻雜準(zhǔn)確度以保證零位和靈敏度的穩(wěn)定性,電阻設(shè)計的阻抗為5KΩ,采用硅硅鍵合技術(shù)形成絕對壓力傳感器的真空參考腔。它比之用硅-pyrex玻璃陽極鍵合形成絕對壓力參考腔有更優(yōu)良的熱膨漲系統(tǒng)匹配,因而更有利于產(chǎn)品的熱穩(wěn)定性和時間穩(wěn)定性。采用這一設(shè)計工藝技術(shù)的另一重大優(yōu)點是可以大大縮小單元芯片尺寸,本設(shè)計的單元芯片尺寸為1mm×1mm,在1個四英硅圓片上可制作七千余個力敏感元件單元,而采用硅―玻璃鍵合設(shè)計的單元芯片尺寸一般為1.5×1.5mm至2.2×2.2mm,因而在一個四英吋的硅圓片上可制的壓力敏感元件單元分別為3400個和1600個,顯而易見,我們的設(shè)計有利于降低單元制作成本。當(dāng)然,采用這一設(shè)計的前提是掌握好硅―硅鍵合技術(shù)及薄硅膜片制作技術(shù)。鑒于輪胎壓力傳感器的量程較大,硅膜片較厚,采用精密機(jī)械減薄或各向同性腐蝕技術(shù)都不難達(dá)到設(shè)計的要求,即使將這一設(shè)計的量程下延至汽車用MAP和AAP絕對壓力傳感器的量程,采用Smart Cut 技術(shù)或外延片電化學(xué)選擇腐蝕技術(shù)亦不難獲得15~20um厚的硅薄膜。

非線性:0.05~0.1%FS;
遲滯與重復(fù)性:0.03%FS;
輸出靈敏度:10~20mV/V;
量程:700Kpa;
過載能力:300%;
零點及靈敏度溫度系數(shù):1~3×10-4/℃·FS。

       本芯片亦可供輪胎壓力傳感器及手持式數(shù)字輪胎壓力及配套使用。

結(jié)語

       用MEMS硅體微機(jī)械加工技術(shù)制作成功輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)用的輪胎壓力傳感器芯片,采用硅―硅鍵合設(shè)計與相關(guān)工藝技術(shù)縮小芯片尺寸,降低單元成本,為TPMS產(chǎn)品開發(fā)走出了第一步。

 

 

標(biāo)簽:輪胎壓力 傳感器系統(tǒng) TPMS 設(shè)計 研制 我要反饋 
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