半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的“氣柜”控制

      在今天，當(dāng)您使用手機(jī)，平板顯示器，MP3播放器或其他電子設(shè)備時(shí)，有誰會考慮這些東西從何而來，要通過多么復(fù)雜的生產(chǎn)過程才能夠?yàn)槿祟悇?chuàng)造出如此先進(jìn)的高科技電子產(chǎn)品。韓國就是最早涉及生產(chǎn)此類產(chǎn)品的國家之一。

 

      2005年，韓國國內(nèi)生產(chǎn)總值大約為7875億美元，在全球排名第11位，總?cè)丝跒?000萬。近幾年，像Samsung，Hyundai，Kia，LG或者Daewoo等韓國品牌已經(jīng)深印在全球消費(fèi)者的腦海中。遠(yuǎn)東地區(qū)以造船，汽車，鋼鐵，電子和半導(dǎo)體工業(yè)之間的競爭為主要特征。世界市場的領(lǐng)先者紛至沓來競相蠶食這塊大蛋糕。韓國電子和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以約占35%的總投資額在經(jīng)濟(jì)活動中占統(tǒng)治地位。很多制造商和供應(yīng)商成功的商業(yè)故事再次證明這一趨勢會在今后的幾年中延續(xù)。位于首爾附近的Welltech Indus就是其中之一。

 

      Welltech Indus供應(yīng)的產(chǎn)品范圍主要是半導(dǎo)體工業(yè)中處理過程氣體的設(shè)備，其中銷售量最好的是“氣柜”。它用于為各種半導(dǎo)體生產(chǎn)過程提供各種重要?dú)怏w。通常每個(gè)生產(chǎn)現(xiàn)場都有配備多達(dá)幾百個(gè)氣柜的完整網(wǎng)絡(luò)。它們通過主PC機(jī)控制和監(jiān)視。同時(shí)，安全和污染防止工作不可小視。半導(dǎo)體產(chǎn)品技術(shù)革新速度之快以及其小型化的發(fā)展趨勢提高了生產(chǎn)中對氣體純度的要求。因此，只有純度最高的氣體才適合生產(chǎn)環(huán)境。

 

      氣瓶和氣罐的壓力是時(shí)刻在變化的，要保持生產(chǎn)過程中嚴(yán)格要求的高壓比，就必須使用先進(jìn)的自動化系統(tǒng)對大約50種不同氣體進(jìn)行精確的壓力調(diào)節(jié)。一些氣體具有刺激性、腐蝕性和易燃性等特征，這增加了壓力控制的難度，因此必須使用最高級別的安全措施來減小風(fēng)險(xiǎn)。另外，必須保證持續(xù)的氣體供給從而避免停機(jī)和影響產(chǎn)品質(zhì)量。氣柜提供了多種選擇：一個(gè)氣瓶/一個(gè)過程，兩個(gè)氣瓶/一個(gè)過程以及兩個(gè)氣瓶/兩個(gè)過程。但是只有最后的一種選項(xiàng)可以保證氣體的持續(xù)供應(yīng)。如果一個(gè)氣瓶空了后系統(tǒng)會自動轉(zhuǎn)換到第二個(gè)瓶。與此同時(shí)可以更換或給空瓶子充氣。

 

      之所以選擇貝加萊2003控制系統(tǒng)（可作為核心控制器或者I/O）和Power Panel面板，是因?yàn)閃elltech Indus深信經(jīng)驗(yàn)豐富的貝加萊公司提供的自動化系統(tǒng)及解決方案能夠滿足其對性能和可靠性方面的要求。最重要的是，他們堅(jiān)信從現(xiàn)在開始可以使用一個(gè)軟件工具Automation Studio處理有關(guān)約50種不同氣體的所有操作選項(xiàng)。各種數(shù)據(jù)都可以被存儲在緩存和CF卡中，許多優(yōu)點(diǎn)都得以體現(xiàn)。之前由于不同制造商的產(chǎn)品之間的通信產(chǎn)生的故障不僅可以避免，甚至連維護(hù)和修復(fù)工作都可以得到極大的簡化。

 

      氣柜中間經(jīng)CAN總線或者以太網(wǎng)TCP/IP形成一個(gè)靈活和可靠的網(wǎng)絡(luò)。以太網(wǎng)TCP/IP可以通過使用光纖電纜覆蓋更大的距離。簡單的I/O處理，緊湊型的控制器以及世界頂尖的技術(shù)支持使貝加萊的解決方案最具競爭力。

 

      在氣柜控制項(xiàng)目中，Welltech Indus和貝加萊從此建立了穩(wěn)定的合作關(guān)系，此次合作也為貝加萊在半導(dǎo)體行業(yè)的業(yè)務(wù)拓展奠定了良好的基礎(chǔ)。攜手貝加萊，今后會有越來越多的韓國高壓氣柜將以高品質(zhì)，高性能，創(chuàng)新性的優(yōu)勢得到市場的肯定和贊譽(yù)。

 

Jaehoon Kim----Welltech Indus銷售經(jīng)理

      “Automation Studio讓我們工作變得更加有條理，智能化地集成了控制器，I/O，通信和顯示任務(wù)，簡化了維護(hù)步驟從而提高了軟件的開發(fā)速度。貝加萊提供的全球?qū)I(yè)的技術(shù)支持隊(duì)伍實(shí)踐了其'全球自動化合作伙伴'這一承諾?！?/DIV>

（轉(zhuǎn)載）