多線切割是一種通過金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動,把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨,將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。數(shù)控多線切割機(jī)已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割,成為硅片切割加工的主要方式。目前世界上僅有瑞士、日本等國家能制造數(shù)控多線切割機(jī)床。由湖南大學(xué)電氣與信息工程學(xué)院博士生導(dǎo)師戴瑜興教授領(lǐng)銜的課題組,四年來與湖南宇晶機(jī)器實(shí)業(yè)有限公司精心合作,經(jīng)過艱苦攻關(guān),終于研制成功XQ300A高檔數(shù)控多線切割機(jī)床,填補(bǔ)了我國在制造此類設(shè)備上的空白,其技術(shù)性能優(yōu)于瑞士、日本同類產(chǎn)品,打破了過去國外設(shè)備長期壟斷國內(nèi)市場的局面。目前國內(nèi)已有十余家企業(yè)訂購了該產(chǎn)品,使用效果非常理想,而價格僅為日本同類產(chǎn)品的50%、瑞士同類產(chǎn)品的30%-40%。
在成果鑒定會上,以中國工程院院士范滇元為主任委員的專家組一致認(rèn)為,該項(xiàng)目成果具有多項(xiàng)自主知識產(chǎn)權(quán),整體技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平,其中切割線的張力控制技術(shù)、收放線電機(jī)和主電機(jī)的同步技術(shù)居于國際領(lǐng)先水平。
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