英國(guó)威格斯公司(Victrex plc)近日宣布，世界領(lǐng)先光罩全方位解決方案供貨商——家登精密股份有限公司(Gudeng Precision Industrial)已采用VICTREX PEEK聚合材料作為其最新款150mm單光罩標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口傳送盒，簡(jiǎn)稱光罩傳送盒應(yīng)用的主要組件材料。
透過(guò)將VICTREX PEEK聚合材料具高硬度、極少的顆粒產(chǎn)生量、高潔凈度以及強(qiáng)ESD性能等特性用于與光罩的所有接觸點(diǎn)上，此款專門設(shè)計(jì)的光罩傳送盒，能有效地在生產(chǎn)、傳送以及處理光罩過(guò)程中，減少產(chǎn)生任何顆粒或釋氣。
光罩傳送盒應(yīng)用的關(guān)鍵在于處理傳送盒的過(guò)程中，包括打開(kāi)與關(guān)上輸送箱時(shí)，需減少或避免產(chǎn)生任何顆?；蜥寶狻Ｒ虼?，用戶必須仔細(xì)選擇輸送箱的材料。家登精密選擇VICTREX PEEK聚合材料，是因?yàn)樵摬牧暇哂杏捕雀摺㈩w粒產(chǎn)生量極少、潔凈度高及ESD性能強(qiáng)等特性。此外，這種聚合材料還具有卓越的耐化學(xué)腐蝕性、耐磨損性、耐水解性、非常優(yōu)異的電介質(zhì)強(qiáng)度及出色的耐輻射性能，因此能夠滿足、甚至超越該應(yīng)用對(duì)關(guān)鍵材料的全部要求。特別是VICTREX PEEK的粒子脫落特性較其它競(jìng)爭(zhēng)材料更為優(yōu)越，而且具有極低的可萃取物特性或揮發(fā)特性。
目前利用這些性能的關(guān)鍵半導(dǎo)體應(yīng)用包括CMP保持環(huán)、晶圓傳輸、晶圓存儲(chǔ)及晶圓箱(FOUP)。
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