數(shù)字化浪潮下，物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、5G通信等現(xiàn)代技術(shù)蓬勃發(fā)展，不僅持續(xù)驅(qū)動(dòng)著電子產(chǎn)品創(chuàng)新，更推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展。集成電路(IC)作為半導(dǎo)體的核心產(chǎn)業(yè)，其制造技術(shù)與設(shè)備要求不斷提升，需要更高效能的生產(chǎn)設(shè)備以滿足日益增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求。
在集成電路制造的眾多環(huán)節(jié)中，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備應(yīng)用于制造的前道工藝，是在晶圓加工中，實(shí)現(xiàn)高精度、均勻薄膜沉積的重要設(shè)備，受到半導(dǎo)體行業(yè)廣泛青睞。然而，要確保PECVD設(shè)備長(zhǎng)期輸出高品質(zhì)薄膜，日常的定期維護(hù)十分重要，這不僅能有效預(yù)防突發(fā)故障及故障導(dǎo)致的生產(chǎn)中斷，還能通過(guò)定期的校準(zhǔn)和調(diào)整，優(yōu)化設(shè)備性能，進(jìn)而延長(zhǎng)其使用壽命，降低設(shè)備使用成本，為企業(yè)的長(zhǎng)期運(yùn)營(yíng)帶來(lái)顯著效益。
定期維護(hù)不可少
如何提高效率減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間?
在PECVD設(shè)備的維護(hù)過(guò)程中，常見(jiàn)的挑戰(zhàn)之一是溫控系統(tǒng)冷卻回路的定期斷開(kāi)與連接。為減少操作時(shí)間，提高維修效率，部分廠家采用快速連接器來(lái)連接冷卻回路，通過(guò)快速斷連回路，有效減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間，保證生產(chǎn)流程的高效和連續(xù)性。
然而，值得注意的是，PECVD設(shè)備中的冷卻回路與敏感的電子元件緊密相鄰，任何連接不當(dāng)或微小泄漏都可能對(duì)電子元件造成不可逆的損害，進(jìn)而導(dǎo)致停機(jī)或影響整個(gè)生產(chǎn)線運(yùn)行。因此，在選擇快速連接器時(shí)，密封性能的優(yōu)良與安全可靠性是至關(guān)重要的考量因素。
史陶比爾快速接頭
優(yōu)異密封性確保冷卻系統(tǒng)長(zhǎng)效運(yùn)行
史陶比爾可為PECVD設(shè)備溫控系統(tǒng)冷卻回路定制設(shè)計(jì)快速接頭，保障高流量、易操作、易清潔的同時(shí)，在密封性等關(guān)鍵性能上表現(xiàn)優(yōu)異，確保設(shè)備長(zhǎng)效運(yùn)行。
平頭密封
接頭兩端采用平頭無(wú)滴漏設(shè)計(jì)，斷開(kāi)時(shí)自動(dòng)切斷回路，不會(huì)發(fā)生任何滴漏，最大限度保障電子元件不受損壞。
杜絕腐蝕
可根據(jù)不同的冷卻介質(zhì)和環(huán)境溫度，提供專業(yè)可靠的密封圈、接頭殼體材質(zhì)選型建議，有效避免產(chǎn)品腐蝕現(xiàn)象 ，延長(zhǎng)使用壽命，長(zhǎng)久維持密封性能穩(wěn)定。
作為全球快速連接系統(tǒng)的領(lǐng)先制造商之一，史陶比爾憑借近70年的深厚工業(yè)連接經(jīng)驗(yàn)，以及在航空航天、鐵路、核電、醫(yī)療設(shè)備、數(shù)據(jù)中心等多個(gè)跨行業(yè)領(lǐng)域積累的豐富液冷批量交付經(jīng)驗(yàn)，能夠精準(zhǔn)地滿足半導(dǎo)體行業(yè)的特殊需求，根據(jù)實(shí)際工況提供定制化連接解決方案。同時(shí)，通過(guò)覆蓋全國(guó)的銷售和售后服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，快速響應(yīng)客戶各階段需求，提供高效的本地化支持，保障長(zhǎng)期合作穩(wěn)固無(wú)憂。
（轉(zhuǎn)載）
