縱觀半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展歷史，不難發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備緊隨全球芯片制造中心而不斷東移：從70-80年代的美國，到80-90年代的日本，再到90年代后期的中國臺灣與韓國。
隨著中國高端制造技術(shù)的不斷發(fā)展，與本身龐大的市場需求相互幫襯，未來十年，中國有望成為半導(dǎo)體芯片制造的全球中心。
目前，在國家重大科技專項(xiàng)的支持下，集成電路主要工藝設(shè)備如PVD、PECVD、CMP、介質(zhì)刻蝕機(jī)、CMP等技術(shù)均有顯著提升。而IC晶圓生產(chǎn)線的設(shè)備國產(chǎn)化率也在不斷提高。設(shè)備技術(shù)的提升也拉高了對光學(xué)傳感器性能的需求。除了對精度、穩(wěn)定性等性能要達(dá)到極高的標(biāo)準(zhǔn)外，傳感器也被要求實(shí)現(xiàn)更多的檢測任務(wù)。
作為有著超過75年歷史的工業(yè)傳感器領(lǐng)先生產(chǎn)廠商，SICK具有深厚的技術(shù)積累，豐富的產(chǎn)品種類，可以為半導(dǎo)體設(shè)備廠商提供更多樣的產(chǎn)品、更優(yōu)異的性能以及更專業(yè)的服務(wù)。
1、硅板厚度測量
產(chǎn)品系列：OD5000位移測量傳感器
訂貨號：6063621
客戶應(yīng)用:
太陽能硅片分選機(jī)，客戶需求在皮帶輸送線上檢測硅片的厚度，精度要求為2um
采用2*OD5000-C30T05上下組合方式，來測量硅片的厚度
客戶利用上位機(jī)接受數(shù)據(jù)做算法處理，判定硅片的規(guī)格
客戶受益：
雙頭側(cè)厚，通過以太網(wǎng)接口和集成在傳感器內(nèi)部評價(jià)單元，無需額外控制器計(jì)算
高達(dá)80kHZ測量頻率，準(zhǔn)確測量微小變化
激光定位更加柔性，可視覺，產(chǎn)品定位精度更高
實(shí)時(shí)在線測量，相對于線激光方案，節(jié)省成本，精度更高
2、石英載具到位檢測
產(chǎn)品系列：WTF12G
訂貨號：1065719
客戶應(yīng)用：
石英載具裝載硅片進(jìn)行熱處理、涂層等一系列工藝流程。
需要對半透明石英載具進(jìn)行穩(wěn)定到位檢測，由于熱處理中溫度較高，無法安裝反射板，只能選擇漫反射。
檢測距離較遠(yuǎn)，無法使用V鏡頭光電傳感器。
客戶受益：
WTF12G是漫反射前景抑制型原理，無需反射板，只需對背景進(jìn)行示教即可
可以穩(wěn)定地檢測透明、半透明等物體
檢測距離可達(dá)700mm
3、硅片檢測：
產(chǎn)品系列：G2F，WTV4FE
WTV4FE訂貨號：1105444
GTB2F訂貨號：1093737
客戶應(yīng)用：
檢測硅片的到位與有無，硅片表面光學(xué)性能特殊，普通漫反射光電很難穩(wěn)定檢測
安裝空間十分有限，需要迷你型尺寸光電
無法安裝鏡反射與對射型光電
客戶受益：
G2F扁平型外觀設(shè)計(jì)，可以安裝在狹小的空間中
獨(dú)特的V型鏡頭設(shè)計(jì)，可穩(wěn)定檢測高反光、透明薄膜，深黑色吸光平面。
WTV4FE可進(jìn)行旋按式示教，V鏡頭檢測距離增加至50mm
產(chǎn)品系列：WTT4SLC
訂貨號：1097190
應(yīng)用需求要點(diǎn)：
檢測距離400-500mm
檢測邊緣，客戶需要光斑盡可能小
安裝位置有限制，只能接受漫反射光電
客戶受益：
WTT4SLC時(shí)間飛行原理，可穩(wěn)定從傾斜角度或側(cè)面檢測帶有弧度的物體，并且不受物體表面顏色和材質(zhì)的影響
具有優(yōu)異的背景抑制性能，可穩(wěn)定屏蔽背景干擾
漫反射檢測，最遠(yuǎn)可達(dá)到1.3m檢測距離
光斑聚攏，4mm(1m)，可以從側(cè)面檢測薄片邊緣
4、Roller(輸送輪)粗糙度區(qū)分：
產(chǎn)品系列：Glare系列光澤度傳感器
應(yīng)用需求要點(diǎn)：
現(xiàn)場面板傳輸設(shè)備運(yùn)輸基板一段時(shí)間后，基板與Roller摩擦導(dǎo)致Roller表面光滑，失去輸送力。
不同摩擦情況不同導(dǎo)致基板受力不均勻，造成良率下降，稼動率降低，客戶使用Glare光澤度傳感器對Roller表面粗糙程度進(jìn)行檢測。
客戶受益：
原本客戶解決方法為工作人員定期停機(jī)檢查，使用自制比對卡進(jìn)行人眼對比觀察。
使用Glare光澤傳感器后客戶受益如下：
降低檢測誤差
減少檢查時(shí)間
節(jié)省人力資源
（轉(zhuǎn)載）
