受惠人工智能、5G和物聯(lián)網(wǎng)等新技術(shù)的迅速發(fā)展，半導(dǎo)體的需求近年不斷擴(kuò)大，設(shè)備商也紛紛加大投入開發(fā)新機(jī)型以應(yīng)對(duì)精密先進(jìn)制程的嚴(yán)苛挑戰(zhàn)。
雷尼紹光柵產(chǎn)品的多樣性和穩(wěn)定性能是重要因素，規(guī)格也十分貼近市場需求，與華卓精科的產(chǎn)品定位十分匹配。
華卓精科（中國）
半導(dǎo)體制造核心裝備包括光刻機(jī)雙工件臺(tái)、晶圓級(jí)鍵合設(shè)備、激光退火先進(jìn)設(shè)備和EFEM等。設(shè)計(jì)精密，無論對(duì)核心零件的規(guī)格或是測控穩(wěn)定性都有極嚴(yán)謹(jǐn)?shù)囊?。這個(gè)領(lǐng)域多年被歐美日廠商壟斷，鮮有中國國內(nèi)廠商有能力涉足其中。
北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱華卓精科）是中國國內(nèi)從事精密制程核心裝備的領(lǐng)先者，他們開發(fā)的半導(dǎo)體設(shè)備和運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用雷尼紹多款高性能光柵系統(tǒng)，是半導(dǎo)體設(shè)備實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化的重要一員。
制程設(shè)備國產(chǎn)化
華卓精科的產(chǎn)品主要面向半導(dǎo)體和精密制造業(yè)，包括整機(jī)和關(guān)鍵機(jī)械測控部件，其中精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)占整體營收約三分之二。
目前華卓精科標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)最多配置7個(gè)運(yùn)動(dòng)軸，有龍門、雙驅(qū)、氣浮等系列，定位精度和重復(fù)精度分別達(dá)± 0.5 μm和 ± 0.1 μm。另外也因應(yīng)客戶制程的要求提供客制化設(shè)計(jì)。
平臺(tái)以直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，配置雷尼紹TONiC系列等光柵系統(tǒng)，通過Ti接口輸出納米級(jí)分辨率訊號(hào)。除了半導(dǎo)體制程應(yīng)用，平臺(tái)也設(shè)計(jì)用于顯示面板，玻璃切割，三維成像等等。其他整機(jī)產(chǎn)品也包括晶圓級(jí)鍵合設(shè)備、激光退火先進(jìn)設(shè)備等整機(jī)設(shè)備，這些設(shè)備都是配置了雷尼紹的光柵系統(tǒng)。
雷尼紹TONiC系列高性能光柵系統(tǒng)
溫度對(duì)柵尺整體性能的影響
在溫度的影響下，設(shè)備許多部件的長度會(huì)因熱膨脹效應(yīng)而發(fā)生變化，而柵尺也不例外。
華卓精科采用的TONiC系列光柵系統(tǒng)大部份配置了RGSZ20S鋼帶柵尺系列，這款柵尺屬于“隨基體伸縮”柵尺，厚度僅0.1mm，意味著柵尺固定在基體上，在溫度變化時(shí)會(huì)跟隨基體膨脹或收縮。
TONiC系列是雷尼紹一款高性能增量式光柵系統(tǒng)，可因應(yīng)設(shè)備基體材料選配不同特性的柵尺。與Ti訊號(hào)細(xì)分接口配套使用時(shí)，在直線和旋轉(zhuǎn)應(yīng)用中分辨率可達(dá)1nm.，而光柵工作速度在0.1μm分辨率時(shí)可達(dá)3.6m/s。
由于安裝公差寬松，并且只需按下按鈕即可進(jìn)行校準(zhǔn)，使TONiC光柵系統(tǒng)的安裝變得快捷簡單。而TONiC的動(dòng)態(tài)信號(hào)處理功能可提高信號(hào)穩(wěn)定性，而且電子細(xì)分誤更低于±30 nm.。
雷尼紹RGSZ20S柵尺——“隨基本伸縮”柵尺
選用雷尼紹的原因
半導(dǎo)體設(shè)備一直講求高度客制化和效率，設(shè)備商必須應(yīng)對(duì)制程的嚴(yán)苛要求和快速的更新周期。華卓精科是目前中國國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商的領(lǐng)先者，像晶圓級(jí)鍵合設(shè)備，國內(nèi)目前僅華卓精科一家有開發(fā)相關(guān)產(chǎn)品。設(shè)備要求精準(zhǔn)的定位精度和重復(fù)性以實(shí)現(xiàn)晶圓與晶圓之間的準(zhǔn)確位置。
華卓精科總經(jīng)理孫國華先生說道：“企業(yè)除了本身需要有良好的技術(shù)基礎(chǔ)外，供貨商的配合也至關(guān)重要。光柵作為平臺(tái)和設(shè)備最關(guān)鍵的零部件之一，我們也是經(jīng)過全面的評(píng)估后才選擇了雷尼紹，而且一直沿用至今。雷尼紹的服務(wù)反應(yīng)總是很迅速，提供我們很多專業(yè)的意見，協(xié)助我們成功爭取不少客戶訂單。有一點(diǎn)令我印象非常深的是雷尼紹的培訓(xùn)做得十分到位，非常有針對(duì)性。我們雙方已合作多年，關(guān)系密切，相信未來也會(huì)有更多合作的機(jī)會(huì)。"
（轉(zhuǎn)載）
