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運(yùn)動(dòng)控制

Aerotech推出適用于顯微鏡物鏡和光學(xué)定位的精密壓電定位臺(tái)

2025China.cn   2017年05月31日

QF-50

 

  ● 閉環(huán)行程達(dá)400μm;開(kāi)環(huán)行程達(dá)450μm

  ● 優(yōu)異的步進(jìn)沉降和掃描性能

  ● 專為更大及擁有更高數(shù)值孔徑的物鏡而設(shè)計(jì)

  ● 直徑為29毫米的透明孔徑

  Aerotech的QFOCUS?QF-50壓電納米級(jí)定位臺(tái)專為高性能顯微物鏡和光學(xué)定位而設(shè)計(jì)。它擁有400μm的閉環(huán)行程和450μm的開(kāi)環(huán)行程,還擁有高速, 0.01%的線性度,亞納米級(jí)分辨率和4nm的雙向重復(fù)性。 QF-50適用于光學(xué)儀器和下一代激光微加工應(yīng)用。由于采用高剛度機(jī)械設(shè)計(jì), QF-50與同類壓電掃描儀相比具有更大,孔徑( NA)數(shù)值更高的物鏡。 QF-50是需要高精度、高產(chǎn)量及長(zhǎng)行程光學(xué)定位應(yīng)用的理想選擇。

  精密設(shè)計(jì)

  QFOCUS_QF-50采用有限元分析優(yōu)化后的精密彎曲導(dǎo)向,具有出色的剛度和諧振頻率,可實(shí)現(xiàn)更高的產(chǎn)量和快速的閉環(huán)響應(yīng)。它還精心考量了QF-50撓性軸承的設(shè)計(jì),確保了其在整個(gè)行程范圍內(nèi)擁有無(wú)與倫比的幾何性能,平直度誤差達(dá)到40 nm。

  直接計(jì)量反饋

  使用獨(dú)特電容式傳感器設(shè)計(jì)的可選閉環(huán)反饋使得其擁有亞納米級(jí)分辨率和高線性度。與箔式應(yīng)變計(jì)或壓阻式傳感器不同的是,該電容式傳感器可直接測(cè)量定位托架,具有優(yōu)異的精度和重復(fù)性。

  精確靈活的控制

  當(dāng)與Aerotech公司Q系列控制器和驅(qū)動(dòng)器結(jié)合時(shí), QF-50展示了其亞納米級(jí)定位分辨率和內(nèi)部定位穩(wěn)定(抖動(dòng))的特性,同時(shí)保持較高的定位帶寬。它還擁有高級(jí)軟件選項(xiàng),如動(dòng)態(tài)控制工具箱和運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)器,可提供各種高效且易于使用的工具,包括迭代學(xué)習(xí)控制,諧波消除和命令成形功能,從而提供更佳的錯(cuò)誤跟蹤功能和更快的步驟和定位時(shí)間。還可使用OEM驅(qū)動(dòng)器選項(xiàng)。

  安裝靈活

    QF-50擁有螺紋適配器,適用于大多數(shù)顯微鏡和物鏡。顯微鏡的轉(zhuǎn)臺(tái)允許在任意方向快速簡(jiǎn)單地定位及安裝。此外,定位臺(tái)上的螺紋孔為機(jī)器或其他光學(xué)儀器中的定制接口提供了替代安裝方式。 QF-50具有標(biāo)準(zhǔn)的29mm透明孔徑,還可提供定制化定位臺(tái)設(shè)計(jì)、行程和螺紋適配器。

  欲了解更多信息,請(qǐng)致電412-967-6854(直接聯(lián)系) Steve_McLane, 或發(fā)送電子郵件。此外,還可從以下網(wǎng)址獲取QFOCUS

  QF-50參數(shù):

  關(guān)于Aerotech - 致力于運(yùn)動(dòng)科學(xué)

  從1970年起,Aerotech(艾羅德克)就為世界各地的工業(yè)、政府、科學(xué)及研究機(jī)構(gòu)的用戶設(shè)計(jì)并制造最高性能的運(yùn)動(dòng)控制、定位臺(tái)/平臺(tái)和定位系統(tǒng)。Aerotech的精密運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品可為現(xiàn)今諸多要求苛刻的市場(chǎng)提供關(guān)鍵性能,如醫(yī)療設(shè)備和生命科學(xué),半導(dǎo)體和平板顯示,光子學(xué)、汽車、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、激光加工、軍事/航空航天、電子制造、測(cè)試、裝配、研發(fā)及其他需要高精度、高生產(chǎn)力運(yùn)動(dòng)解決方案的市場(chǎng)。

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