引言：近年來，國內(nèi)平板顯示產(chǎn)業(yè)在國家政策的持續(xù)支持下，已實現(xiàn)了技術(shù)和產(chǎn)業(yè)規(guī)模的多種突破，快速掘起成為世界平板顯示產(chǎn)業(yè)的重要一環(huán)。
作為市場領(lǐng)先的濕制程領(lǐng)導(dǎo)設(shè)備商，Manz亞智科技憑借30多年的豐富經(jīng)驗及超過3,000臺的設(shè)備銷售實績，為顯示器及觸控面板產(chǎn)業(yè)提供生產(chǎn)制程全方位解決方案。為突破目前國內(nèi)顯示器生產(chǎn)制程中的曝光機(jī)及Track Line等關(guān)鍵設(shè)備幾乎被國外廠商所壟斷的局面，Manz亞智科技宣布與上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司(以下簡稱上海微電子)簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議。根據(jù)合作協(xié)議，未來上海微電子在國內(nèi)提供黃光微影制程解決方案，將結(jié)合其曝光機(jī)與Manz Track Line解決方案，攜手拓展國內(nèi)顯示器面板 Array 段的黃光微影制程生產(chǎn)設(shè)備市場。
近年來，國內(nèi)平板顯示產(chǎn)業(yè)在國家政策的持續(xù)支持下，已實現(xiàn)了技術(shù)和產(chǎn)業(yè)規(guī)模的多種突破，快速掘起成為世界平板顯示產(chǎn)業(yè)的重要一環(huán)。在TFT設(shè)備生產(chǎn)和研發(fā)方面，雖然國內(nèi)投入巨資開工建設(shè)了多條高世代面板線，然而固定投資資金約60%左右都花在了設(shè)備購買上，而主要制程設(shè)備則從日韓等國家進(jìn)口，國產(chǎn)設(shè)備研發(fā)之路依舊任重道遠(yuǎn)。
Manz亞智科技與國內(nèi)著名的半導(dǎo)體設(shè)備制造公司-上海微電子簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，正是共同創(chuàng)新、實現(xiàn)技術(shù)突破并積極響應(yīng)國家號召“以創(chuàng)新引領(lǐng)實體經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型升級”的具體體現(xiàn)。雙方將就顯示器面板 Array 段的黃光微影制程生產(chǎn)設(shè)備結(jié)成長期戰(zhàn)略合作關(guān)系，旨在打破國內(nèi)市場上關(guān)鍵設(shè)備需依靠進(jìn)口的局面。未來，上海微電子的曝光機(jī)將結(jié)合Manz Track Line解決方案，攜手拓展國內(nèi)顯示器面板 Array 段的黃光微影制程生產(chǎn)設(shè)備市場份額。目前，Manz G4.5 Track Line 相關(guān)設(shè)備已裝機(jī)于上海微電子研發(fā)廠內(nèi)，包括清洗設(shè)備、涂布設(shè)備、顯影設(shè)備及自動化軟硬件設(shè)備，將提供客戶做樣品測試及驗證。
上海微電子作為國內(nèi)著名的半導(dǎo)體設(shè)備制造商，主要致力于半導(dǎo)體裝備、泛半導(dǎo)體裝備、高端智能裝備的開發(fā)、設(shè)計、制造、銷售及技術(shù)服務(wù)，其設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路前道、先進(jìn)封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領(lǐng)域。其研發(fā)生產(chǎn)之曝光機(jī)為ARRAY段黃光微影制程的關(guān)鍵設(shè)備, 分辨率高達(dá)2um以下，并已通過客戶的生產(chǎn)驗證。 該曝光機(jī)仍不斷進(jìn)行技術(shù)精進(jìn)與研發(fā)，目前已達(dá)成1.5um分辨率技術(shù)研發(fā)。
Manz Track Line 解決方案之關(guān)鍵設(shè)備精密涂布設(shè)備，擁有出色的膜厚均一性≤3%。
光阻涂布在黃光微影制程中亦是影響 Array 段制程的關(guān)鍵之一，光阻涂布的均勻性及用量，都關(guān)系著面板良率及生產(chǎn)成本。Manz亞智科技自主研發(fā)的精密涂布設(shè)備采取了狹縫式涂布，能針對不同的流體進(jìn)行涂刀內(nèi)部流道分析及設(shè)計，并采用直接驅(qū)動的自有注射泵及供液系統(tǒng)，有效控制光阻的膜厚均勻度≤3%。
圖一：Manz Track Line解決方案之關(guān)鍵設(shè)備，精密涂佈機(jī)，擁有出色的膜厚均一性≤3%
(圖片來源：Manz 亞智科技)
上海微電子將曝光機(jī)臺、Track Line、長短寸及膜厚量測機(jī)臺整合在一起，并進(jìn)一步連接各設(shè)備之間的軟硬件，優(yōu)化各機(jī)臺的運(yùn)行參數(shù)，結(jié)合定制化光阻，為客戶提供完整的、高分辨率、高效率黃光微影制程解決方案。
通過此次Manz亞智科技與上海微電子的戰(zhàn)略合作，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)備生產(chǎn)的國產(chǎn)化，從研發(fā)、材料、生產(chǎn)到服務(wù)全部本地化，更將打破目前國內(nèi)關(guān)鍵設(shè)備生產(chǎn)被外商所壟斷的局面。此舉將能快速響應(yīng)面板制造商日新月異的需求，提供定制化的服務(wù)，還可以有效地降低設(shè)備購置成本及運(yùn)送成本，未來更好的進(jìn)一步服務(wù)本地客戶。此次合作，也意味著Manz亞智科技未來將把技術(shù)研發(fā)的觸角伸進(jìn)半導(dǎo)體領(lǐng)域。
Manz亞智科技暨顯示器事業(yè)部總經(jīng)理林峻生表示：“身為濕制程領(lǐng)導(dǎo)設(shè)備商，Manz 亞智科技30多年來不斷致力于技術(shù)突破和創(chuàng)新。由濕制程技術(shù)跨足到以精密涂布為關(guān)鍵的Track Line解決方案，核心技術(shù)的整合與擴(kuò)充應(yīng)用是我們主要的發(fā)展方向。通過與上海微電子的戰(zhàn)略合作對我們而言無疑是一大助力，將結(jié)合雙方資源，掌握顯示器面板黃光微影生產(chǎn)制程的關(guān)鍵技術(shù)與設(shè)備，共同打破關(guān)鍵制程設(shè)備需仰賴進(jìn)口的瓶頸，使設(shè)備國產(chǎn)化、更貼近市場，從而以本地化的服務(wù)及生產(chǎn)成本，更好地服務(wù)本地客戶。這項戰(zhàn)略合作是一個良好的開端，未來在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)也將會有更進(jìn)一步的合作?！毕肓私飧嚓P(guān)于Manz為顯示器關(guān)鍵制程所提出的Track Line解決方案，請造訪Manz 亞智科技位于2017上海國際全觸與顯示展(C-Touch Shanghai 2017)的展位。
日期：2017年4月25日 (周二) ~ 2017年4月27日 (周四)
時間：09:00 AM~04:30 PM
地點：上海世博展覽館二號館 /上海市浦東新區(qū)國展路1099號
展位：2B11
Manz 集團(tuán) ——激情成就高效能(Passion for efficiency)
Manz 集團(tuán)總公司位于德國羅伊特林根城，是一家全球領(lǐng)先的高科技設(shè)備制造商。1987 年成立的Manz 公司，現(xiàn)已從自動化專家，成功發(fā)展成為生產(chǎn)設(shè)備解決方案的供貨商。Manz 專精于六項科技領(lǐng)域，包含自動化、量測與檢測、激光工藝、化學(xué)濕制程、印刷與涂布，及卷對卷技術(shù)，這些核心技術(shù)應(yīng)用于Manz 在“電子裝置及元器件”、“太陽能”及“儲能”三大策略領(lǐng)域的技術(shù)擴(kuò)展，并將在未來持續(xù)向前發(fā)展。Manz 集團(tuán)于2006 年在德國公開上市，由創(chuàng)立者Dieter Manz 先生擔(dān)任首席執(zhí)行長，Manz 集團(tuán)在德國、斯洛伐克、匈牙利、意大利、中國大陸及臺灣皆設(shè)有自己的生產(chǎn)據(jù)點;而Manz 集團(tuán)的業(yè)務(wù)銷售及服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍布全球，包括美國、南韓和印度。在公司宣言“激情成就高效能”的推動下，Manz 承諾未來會為各種重點產(chǎn)業(yè)的客戶，提供更高效能的生產(chǎn)系統(tǒng)解決方案。作為世界領(lǐng)先的設(shè)備制造商，Manz 為其全球眾多客戶降低終端產(chǎn)品的生產(chǎn)成本作出了巨大貢獻(xiàn)。
（轉(zhuǎn)載）
