為了符合市場(chǎng)對(duì)小型化裝置的殷切需求，芯片設(shè)計(jì)因而需要進(jìn)行大幅地改善以提高產(chǎn)品質(zhì)量，而其制造過程中，晶圓供貨商更必須持續(xù)地為提升產(chǎn)能、簡(jiǎn)化流程來努力，所以多年來先進(jìn)制程控制(Advanced Process Control System，APC)系統(tǒng)早已被運(yùn)用在芯片制造過程中，藉此才能以更具競(jìng)爭(zhēng)力的性價(jià)比優(yōu)勢(shì)來產(chǎn)出優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品。由于APC技術(shù)需要使用到大量的數(shù)據(jù)，因此使得精準(zhǔn)的數(shù)據(jù)采集成為該系統(tǒng)成敗的關(guān)鍵，而且在芯片制造過程中常常需要進(jìn)行許多重復(fù)性的動(dòng)作，故設(shè)備通常都會(huì)配置像APC的子系??統(tǒng)──錯(cuò)誤偵測(cè)與判斷(Fault Detection and Classification，F(xiàn)DC)系??統(tǒng)來進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)，并進(jìn)而執(zhí)行設(shè)備暫停與發(fā)送警訊等控管作業(yè)。
某全球知名的芯片制造商因?yàn)樵械木A研磨機(jī)每秒只能提供單件樣本(sample)的采樣速度，導(dǎo)致對(duì)晶圓過度研磨而產(chǎn)生不少?gòu)U品的問題，因此打算尋找適合的改善方案，以提高產(chǎn)品良率，但由于該日本進(jìn)口的研磨機(jī)仍在保固期內(nèi)，所以既無法更換設(shè)備也不能動(dòng)到機(jī)器內(nèi)部的線路，因此外接裝置來量測(cè)磨頭馬達(dá)的AC電流成為唯一可行的解??決方案，此外新方案還要能夠發(fā)送出常閉接點(diǎn)(Normal Close，NC)的數(shù)字輸出信號(hào)，以便妥善地控制磨頭的運(yùn)轉(zhuǎn)。
研華藉由產(chǎn)品線中的各種I/O模塊之組合提供了客戶一種非侵入性的最佳解決方案，而此方案不僅提高了晶圓制造過程中數(shù)據(jù)采集的采樣率，更提升了該制造設(shè)備的性能。針對(duì)客戶的需求，研華提供的是ADAM-3114-T模塊和ADAM-6000系列產(chǎn)品，透過將其安裝在控制柜內(nèi)量測(cè)機(jī)臺(tái)信號(hào)，就能有效提高機(jī)器設(shè)備的采樣率(3 samples/sec)。另外，由于原有的AC訊號(hào)過于微弱，因此研華特別為客戶客制了ADAM-3114-T這款隔離AC電流輸入模塊，藉由將來自傳感器的電流信號(hào)放大后，就能順利將現(xiàn)場(chǎng)數(shù)據(jù)傳送給負(fù)責(zé)接收模擬信號(hào)的ADAM-6017模塊。
另外，Modbus / TCP數(shù)字輸出模塊ADAM-6050則負(fù)責(zé)將磨頭馬達(dá)的數(shù)據(jù)透過客戶的內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)傳輸給服務(wù)器，如此一來管理者就能實(shí)時(shí)監(jiān)控晶圓研磨機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。而一旦機(jī)器出現(xiàn)任何異常時(shí)，使用者就能透過控制磨頭的數(shù)字輸入輸出模塊ADAM-6050來實(shí)時(shí)關(guān)閉設(shè)備。而針對(duì)此一應(yīng)用案例，研華其實(shí)還提供了許多其他選項(xiàng)，以滿足客戶未來進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)之需，譬如像是在相同的產(chǎn)品組合下，客戶只需增添更多的通道后，就能把采樣率提高至每秒20個(gè)樣本的高速采樣應(yīng)用。
晶圓制造是相當(dāng)不易且復(fù)雜的精致工藝，因此每提出一套新的制程方案都必須仔細(xì)考慮并設(shè)計(jì)出完善流程以符合每個(gè)步驟的制造和檢驗(yàn)，也才能更快速地完成生產(chǎn)作業(yè)。研華各種可提供高質(zhì)量保證的產(chǎn)品不僅滿足客戶制程應(yīng)用上的需求，更同時(shí)協(xié)助用戶提升產(chǎn)能、降低廢品、并增加制造設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間。已完成大約一年的這項(xiàng)項(xiàng)目，因?yàn)橛辛藘?yōu)異的成績(jī)表現(xiàn)，也讓研華成為該晶圓廠未來其他項(xiàng)目產(chǎn)品使用的首選供貨商。
關(guān)于研華 –研華科技創(chuàng)立于1983年，是全球領(lǐng)先、值得信賴的創(chuàng)新型嵌入式、自動(dòng)化產(chǎn)品解決方案提供商，提供包括完整的系統(tǒng)集成、硬件、軟件、以客戶為中心的設(shè)計(jì)服務(wù)和全球物流支持等。研華同時(shí)也是Intel嵌入式與通訊聯(lián)盟 (Embedded & Communications Alliance) Premier Member，通過與解決方案伙伴的密切合作，為各種工業(yè)應(yīng)用提供完整的解決方案。研華擁有5400多名專職員工，在21個(gè)國(guó)家、71個(gè)主要城市之間形成了一個(gè)廣泛的技術(shù)支持和營(yíng)銷網(wǎng)絡(luò)，因此可以為全球的客戶提供快速的上市服務(wù)。
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