siemens x
傳感器

40臺烤箱(芯片老化)溫度專用監(jiān)視記錄系統(tǒng)

2025China.cn   2009年02月04日
一、概述：此系統(tǒng)是對半導(dǎo)體芯片加工過程中，需要對出產(chǎn)的芯片進(jìn)行老化檢驗(yàn)這一工藝而開發(fā)的專用系統(tǒng)。它全自動對40臺烤箱(芯片老化，共240個溫度點(diǎn))的溫度按年月日同時進(jìn)行24小時全天采集監(jiān)視記錄，值班人員可隨時根據(jù)烤箱的溫度數(shù)據(jù)情況確認(rèn)當(dāng)前數(shù)據(jù)是否異常，并且可以保存確認(rèn)記錄，以便今后查看、打印歷史記錄。運(yùn)用此系統(tǒng)，用戶可以大大提高生產(chǎn)效率，減輕工人的工作量，同時，對公司的產(chǎn)品質(zhì)量的提高提供了一手的原始數(shù)據(jù)。目前已經(jīng)有4套系統(tǒng)在日月光(上海)半導(dǎo)體的三個車間運(yùn)行，溫度傳感器采用K型熱電偶，測溫為0--250℃，溫度誤差±2℃。更新速度1次/秒，保存速度1次/分。

二、.技術(shù)指標(biāo)：

烤箱數(shù)：40臺

每個烤箱溫度點(diǎn)：6個

總溫度點(diǎn)：40x6=240個

熱電偶類型：J、K(默認(rèn))、T、E、R、S、B、N

AD分辨率：24位

更新速度：1次/秒

采集模塊：采用本公司ZP1018模塊，共用40個模塊

主機(jī)模塊：采用本公司ZP1090模塊，共用5個模塊

每個主機(jī)模塊帶8個ZP1018模塊

通信模式：HEX模式（本公司特有模式，推薦用）

通信波特率：9600bps

通訊接口：RS485接口，2線制

通信距離：1200米，加中繼器可以更長距離

電壓精度等級：±0.05% FSR或更高

溫度精度等級：根據(jù)用戶的熱點(diǎn)偶的精度等級確定

系統(tǒng)工作溫度：-20℃～70℃

（轉(zhuǎn)載）

標(biāo)簽：40臺 烤箱 (芯片老化) 溫度 專用 監(jiān)視 記錄系統(tǒng) 我要反饋 
2024世界人工智能大會專題
即刻點(diǎn)擊并下載ABB資料，好禮贏不停~
優(yōu)傲機(jī)器人下載中心
西克
2024全景工博會
專題報道